METHODS AND APPARATUS FOR EX SITU SEASONING OF ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING PROCESS COMPONENTS

摘要

일 양상으로서, 전자 소자 제조 설비의 성능을 개선하는 방법이 제공되며, 방법은 제조 설비를 이용하여 수행되는 전자 소자 제조 컴포넌트 시즈닝 단계들의 수를 감소시키는 단계를 포함하고, 이에 따라 전자 소자 제조 시스템 정지 시간량이 감소된다. 몇가지 다른 양상들이 제공된다.