| 摘要 |
태양전지를 제조하기 위한 장치들 및 방법들이 개시된다. 특정 실시예에서, 상기 태양전지는 입자 소스를 갖는 챔버에 태양전지를 배치하는 단계; 개구, 및 상기 입자 소스와 상기 태양전지 사이의 어셈블리 세그먼트를 포함하는 패터닝된 어셈블리를 배치하는 단계; 및 상기 제1형 도펀트들의 제1 영역의 외부 영역으로의 도입을 최소화하면서, 상기 개구를 통하여 이동하는 상기 제1형 도펀트들을 상기 태양전지의 상기 제1 영역으로 선택적으로 주입하는 단계에 의해 제조될 수 있다. |
