用于晶硅铸锭炉的石墨热场及晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型提供一种用于晶硅铸锭炉的石墨热场，其包括设置于晶硅铸锭炉内的坩埚外侧的石墨侧板。所述石墨侧板下侧设有开槽。所述石墨热场还包括填充于所述开槽内的多孔材料、通入开槽内的气体供应管路和设置于气体供应管路上的质量流量控制器。通过开槽、多孔材料和气体供应管路的配合设置，可对石墨侧板下侧，进而对与之相邻的坩埚边缘区域的温度进行有效调节，最终获得整锭均在未熔化的硅料上生长的高质量多晶硅锭。

主权项

一种用于晶硅铸锭炉的石墨热场，所述石墨热场包括设置于晶硅铸锭炉内坩埚的外侧的石墨侧板，其特征在于：所述石墨侧板下侧设有开槽，所述石墨热场还包括填充于所述开槽内的多孔材料、通入开槽内的气体供应管路和设置于气体供应管路上的质量流量控制器。