| 主权项 |
一种PCB曝光图形正确性验证方法，其特征在于，包括如下步骤：1)将标定板放入直写曝光设备的精密平台上，并进行真空吸附定位，所述标定板在X方向和Y方向都有一系列等间距的实心圆MARK；2)通过直写曝光设备的CCD图像采集系统测量标定板上不同实心圆的中心坐标，标定板实心圆MARK中心坐标测量结果为q，坐标矩阵如下：<maths num="0001" id="cmaths0001"><math><![CDATA[<mrow><mi>q</mi><mo>=</mo><mfenced open = '[' close = ']'><mtable><mtr><mtd><mrow><mo>(</mo><msub><mi>x</mi><mn>11</mn></msub><mo>,</mo><msub><mi>y</mi><mn>11</mn></msub><mo>)</mo><mo>(</mo><msub><mi>x</mi><mn>12</mn></msub><mo>,</mo><msub><mi>y</mi><mn>12</mn></msub><mo>)</mo><mo>...</mo><mo>(</mo><msub><mi>x</mi><mrow><mn>1</mn><mi>m</mi></mrow></msub><mo>,</mo><msub><mi>y</mi><mrow><mn>1</mn><mi>m</mi></mrow></msub><mo>)</mo></mrow></mtd></mtr><mtr><mtd><mrow><mo>(</mo><msub><mi>x</mi><mn>21</mn></msub><mo>,</mo><msub><mi>y</mi><mn>21</mn></msub><mo>)</mo><mo>(</mo><msub><mi>x</mi><mn>22</mn></msub><mo>,</mo><msub><mi>y</mi><mn>22</mn></msub><mo>)</mo><mo>...</mo><mo>(</mo><msub><mi>x</mi><mrow><mn>2</mn><mi>m</mi></mrow></msub><mo>,</mo><msub><mi>y</mi><mrow><mn>2</mn><mi>m</mi></mrow></msub><mo>)</mo></mrow></mtd></mtr><mtr><mtd><mo>.</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><mo>.</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><mo>.</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><mo>.</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><mo>.</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><mo>.</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><mrow><mo>(</mo><msub><mi>x</mi><mrow><mi>n</mi><mn>1</mn></mrow></msub><mo>,</mo><msub><mi>y</mi><mrow><mi>n</mi><mn>1</mn></mrow></msub><mo>)</mo><mo>(</mo><msub><mi>x</mi><mrow><mi>n</mi><mn>2</mn></mrow></msub><mo>,</mo><msub><mi>y</mi><mrow><mi>n</mi><mn>2</mn></mrow></msub><mo>)</mo><mo>...</mo><mo>(</mo><msub><mi>x</mi><mrow><mi>n</mi><mi>m</mi></mrow></msub><mo>,</mo><msub><mi>y</mi><mrow><mi>n</mi><mi>m</mi></mrow></msub><mo>)</mo></mrow></mtd></mtr></mtable></mfenced></mrow>]]></math><img file="FDA0000852970790000011.GIF" wi="728" he="383" /></maths>其中n为实心圆MARK的行数，m为实心圆MARK的列数；3)将PCB基板置于精密平台上，曝光面聚焦在PCB基板表面，对PCB基板曝光标定板图形后显影；4)再将PCB基板置于精密平台上，通过CCD图像采集系统测量PCB基板上不同实心圆的中心坐标，PCB基板实心圆MARK中心坐标测量结果为Q，坐标矩阵如下：<maths num="0002" id="cmaths0002"><math><![CDATA[<mrow><mi>Q</mi><mo>=</mo><mfenced open = '[' close = ']'><mtable><mtr><mtd><mrow><mo>(</mo><msub><mi>X</mi><mn>11</mn></msub><mo>,</mo><msub><mi>Y</mi><mn>11</mn></msub><mo>)</mo><mo>(</mo><msub><mi>X</mi><mn>12</mn></msub><mo>,</mo><msub><mi>Y</mi><mn>12</mn></msub><mo>)</mo><mo>...</mo><mo>(</mo><msub><mi>X</mi><mrow><mn>1</mn><mi>m</mi></mrow></msub><mo>,</mo><msub><mi>Y</mi><mrow><mn>1</mn><mi>m</mi></mrow></msub><mo>)</mo></mrow></mtd></mtr><mtr><mtd><mrow><mo>(</mo><msub><mi>X</mi><mn>21</mn></msub><mo>,</mo><msub><mi>Y</mi><mn>21</mn></msub><mo>)</mo><mo>(</mo><msub><mi>X</mi><mn>22</mn></msub><mo>,</mo><msub><mi>Y</mi><mn>22</mn></msub><mo>)</mo><mo>...</mo><mo>(</mo><msub><mi>X</mi><mrow><mn>2</mn><mi>m</mi></mrow></msub><mo>,</mo><msub><mi>Y</mi><mrow><mn>2</mn><mi>m</mi></mrow></msub><mo>)</mo></mrow></mtd></mtr><mtr><mtd><mo>.</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><mo>.</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><mo>.</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><mo>.</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><mo>.</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><mo>.</mo></mtd></mtr><mtr><mtd><mrow><mo>(</mo><msub><mi>X</mi><mrow><mi>n</mi><mn>1</mn></mrow></msub><mo>,</mo><msub><mi>Y</mi><mrow><mi>n</mi><mn>1</mn></mrow></msub><mo>)</mo><mo>(</mo><msub><mi>X</mi><mrow><mi>n</mi><mn>2</mn></mrow></msub><mo>,</mo><msub><mi>Y</mi><mrow><mi>n</mi><mn>2</mn></mrow></msub><mo>)</mo><mo>...</mo><mo>(</mo><msub><mi>X</mi><mrow><mi>n</mi><mi>m</mi></mrow></msub><mo>,</mo><msub><mi>Y</mi><mrow><mi>n</mi><mi>m</mi></mrow></msub><mo>)</mo></mrow></mtd></mtr></mtable></mfenced></mrow>]]></math><img file="FDA0000852970790000012.GIF" wi="774" he="382" /></maths>5)指定统一的坐标系，将坐标矩阵q和Q平移至该坐标系的坐标原点，并旋转坐标矩阵q和Q至与该坐标系的夹角为0°，得到平移和旋转后的坐标矩阵L和K，再将坐标矩阵L和K相减得到差值坐标矩阵H；6)根据差值坐标矩阵H定量分析曝光图形不同坐标位置处畸变量的大小。 |
