一种挡光式MEMS VOA

摘要

本发明公开一种挡光式MEMS VOA，包括输入光纤(1)、输出光纤(2)、MEMS芯片(4)、反射装置，所述反射装置将输入光纤的输入光反射至输出光纤端，所述MEMS芯片(4)设置有挡光装置(4-1)，挡光装置由挡光板(4-1-1)、连接杆(4-1-2)、散热杆(4-1-3)组成，挡光板(4-1-1)与连接杆(4-1-2)之间设有空腔区域；在掉电状态下调试输入光纤(1)使其与连接杆(4-1-2)对准，连接杆(4-1-2)遮挡由输入光纤(1)进入的输入光产生与其对应的初始衰减值，输出光纤(2)位于空腔区域内不受遮挡有效通光孔径。本发明装置可以实现掉电衰减保持为特定值5～15dB，掉电后MEMS VOA产品仍能保持在特定工作状态，且满足最小衰减小于0.8dB、最大可调衰减达到40dB以上的要求。

主权项

一种挡光式MEMS VOA，包括输入光纤(1)、输出光纤(2)、MEMS芯片(4)、反射装置，其特征在于：所述反射装置将输入光纤的输入光反射至输出光纤端，所述MEMS芯片(4)设置有挡光装置(4‑1)，挡光装置由挡光板(4‑1‑1)、连接杆(4‑1‑2)、散热杆(4‑1‑3)组成，挡光板(4‑1‑1)与连接杆(4‑1‑2)之间设有空腔区域；在掉电状态下调试输入光纤(1)使其与连接杆(4‑1‑2)对准，连接杆(4‑1‑2)遮挡由输入光纤(1)进入的输入光产生与其对应的初始衰减值，输出光纤(2)位于空腔区域内不受遮挡有效通光孔径。