固体粒子回收去除装置、液体管理装置及蚀刻液管理装置

摘要

本发明提供节省空间且能够缩短处理时间的固体粒子回收去除装置、具备该固体粒子回收去除装置的液体管理装置以及蚀刻液管理装置。该固体粒子回收去除装置具备：壳体(35)，其形成为筒状；中心轴(36a)，其设置在壳体(35)内；螺杆叶片(36b)，其以接近壳体(35)的内壁的方式呈螺旋状地设置在中心轴(36a)的周围；流入口，其供给包含固体粒子的液体；排出口，其排出包含固体粒子的液体；固体粒子排出管，其将固体粒子从壳体排出，固体粒子排出管设置为比流入口以及流出口靠上方侧，壳体(35)以具有规定的角度的方式配置，电动机(37)使螺杆叶片(36b)旋转，由此将液体中的固体粒子从壳体(35)内的液体中向固体粒子排出管输送而排出。

主权项

一种固体粒子回收去除装置，其特征在于，具备：壳体，其形成为筒状；中心轴，其在所述壳体中沿长度方向设置；螺杆叶片，其以接近所述壳体的内壁的方式呈螺旋状地设置在所述中心轴的周围；电动机，其使所述中心轴旋转；流入口，其将含有固体粒子的液体向所述壳体供给；固体粒子排出管，其将所述固体粒子从所述壳体排出；流出口，其将被去除了所述固体粒子的所述液体排出，所述固体粒子排出管设置为在铅垂方向上比所述流入口以及所述流出口靠上方侧，所述壳体以相对于水平具有规定的角度的方式配置，所述电动机使所述螺杆叶片以所述中心轴为旋转中心进行旋转，由此将所述液体中的固体粒子从所述壳体内的所述液体中向所述固体粒子排出管输送而排出。