| 摘要 |
Устройство для получения многокомпонентных многослойных покрытий, состоящее из цилиндрической вакуумной камеры, катодов-мишеней, держателей деталей, анода, магнитной системы, включающей электромагниты, расположенные диаметрально вне вакуумной камеры, полюсные наконечники и магнитопроводы, соединенные с торцевыми фланцами вакуумной камеры, выполненными из магнитопроводного материала, отличающееся тем, что анод выполнен из двух элементов, установленных с радиальным зазором внутри полюсных наконечников на торцевых фланцах вакуумной камеры по ее оси , и снабжен электрически нейтральными цилиндрическими экранами, выполненными из немагнитного металла и установленными коаксиально между элементами анода и полюсными наконечниками. |
