一种复杂结构轴承引导面镀硬质涂层的方法

摘要

一种复杂结构轴承引导面镀硬质涂层的方法，它涉及一种轴承表面镀涂层的方法。本发明的目的是要解决现有在复杂轴承引导面镀TiN涂层采用的镀膜和二次加工两步法，导致生产效率下降，轴承尺寸精度发生变化，无法满足轴承对尺寸精度的要求的问题。方法：一、利用工装进行装配；二、安装轴承，检测真空室真空度；三、抽真空与预加热处理；四、复杂结构轴承溅射清洗；五、多弧离子镀TiN；六、冷却降温，得到引导面镀硬质涂层的复杂结构轴承。复杂结构轴承的引导面使用本发明方法镀硬质涂层后，涂层的结合力为70N～90N。本发明可获得一种复杂结构轴承引导面镀硬质涂层的方法。

主权项

一种复杂结构轴承引导面镀硬质涂层的方法，其特征在于一种复杂结构轴承引导面镀硬质涂层的方法是按以下步骤完成的：一、利用工装Ⅰ将复杂结构轴承引导面以下包括从动环的部分包裹在内，利用工装Ⅱ将复杂结构轴承引导面以上包括篦齿的部分包裹在内，利用工装Ⅲ将复杂结构轴承的滚道包裹在内，且工装Ⅲ的上、下两端分别卡在复杂结构轴承滚道的挡边处，得到工装包裹后的复杂结构轴承；二、将工装包裹后的复杂结构轴承与真空室的旋转靶台相连接，再将两个多弧靶材安装在旋转靶台两侧，且两个多弧靶材与旋转靶台的距离相等；将两个百叶窗分别放置到多弧靶材与旋转靶台之间，检测真空室的系统漏率，要求真空室的系统漏率低于0.002Pa·L/s；步骤二中所述的多弧靶材为Ti靶，Ti靶的纯度为99.99％；步骤二中所述的百叶窗的叶片与多弧靶材的表面夹角为30°～60°；三、抽真空与预加热处理：将背底真空抽至小于1×10^‑2Pa，再打开加热装置，使复杂结构轴承的温度升至150℃～250℃，再将背底真空抽至小于2×10^‑3Pa；四、复杂结构轴承溅射清洗：向真空室内通入氩气，使真空室的气压升至40Pa～100Pa，再在复杂结构轴承上施加500V～1000V的负偏压，以复杂结构轴承为负极，真空室为正极产生辉光放电，在旋转靶台匀速旋转的同时，溅射清洗60min～120min；再将真空室内的气压降至0.1Pa～1Pa，点燃多弧靶材，在旋转靶台匀速旋转的同时，在弧流为60A～70A下清洗5min～20min；五、多弧离子镀TiN：关闭氩气，向真空室内通入纯度为99.999％的氮气，使真空室内的气压升至0.2Pa～2.0Pa，再点燃多弧靶材，在旋转靶台匀速旋转的同时，在弧流为60A～90A、基体偏压为负50V～100V和复杂结构轴承温度为150℃～250℃下镀膜40min～600min；六、冷却降温：关闭多弧电源，真空室内保持抽真空状态，关闭加热装置，使复杂结构轴承自然冷却，当复杂结构轴承的温度降至低于50℃后，打开真空室，得到引导面镀硬质涂层的复杂结构轴承。