湿法刻蚀用HF槽的排液系统

摘要

本发明公开了一种湿法刻蚀用HF槽的排液系统，包括与HF槽相连的排液管和用于控制所述排液管开闭的气动阀，该排液系统还包括设置在所述排液管上，且位于所述HF槽与所述气动阀之间的过滤装置。在系统维护时，HF槽中的药液将首先通过过滤装置，然后才能经过气动阀被排出。过滤装置可以将药液中的细微碎渣过滤，从而有效避免碎渣进入到气动阀内而对气动阀的性能造成影响，因而该排液系统也就保证了气动阀工作的可靠性。

主权项

一种湿法刻蚀用HF槽的排液系统，包括与HF槽(1)相连的排液管(2)和用于控制所述排液管(2)开闭的气动阀(4)，其特征在于，还包括设置在所述排液管(2)上，且位于所述HF槽(1)与所述气动阀(4)之间的过滤装置。