发明名称 |
磁铁用环型冷却流体通道 |
摘要 |
大致描述一种具有环形冷却剂流体通道的磁铁。各种示例提供一种包括配置于离子束耦合器周围的第一磁铁与第二磁铁的磁铁,所述离子束耦合器具有孔隙通过之。第一磁铁与第二磁铁的各者包括具有空腔于其中的金属核心、配置于金属核心周围的一或多个导线包以及经设置以嵌入于空腔中的环形核心元件,其中在空腔与环形核心元件之间形成环形冷却剂流体通道。此外,各环形核心元件可具有第一直径且中间部分具有第二直径,第二直径小于第一直径。已揭示与主张其他实施例。 |
申请公布号 |
CN105283975A |
申请公布日期 |
2016.01.27 |
申请号 |
CN201480033457.0 |
申请日期 |
2014.06.13 |
申请人 |
瓦里安半导体设备公司 |
发明人 |
斯卡特·巴洛克拉夫;詹姆士·S·贝福 |
分类号 |
H01L43/12(2006.01)I;H01L43/08(2006.01)I |
主分类号 |
H01L43/12(2006.01)I |
代理机构 |
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 |
代理人 |
杨贝贝;臧建明 |
主权项 |
一种磁铁,其特征在于,包括:金属核心,其中具有空腔;多个导线包,配置于所述金属核心周围;以及环形核心元件,经设置以被所述空腔容纳,所述环形核心元件经设置以形成环形冷却剂流体通道,所述环形冷却剂流体通道形成在所述空腔与所述环形核心元件之间。 |
地址 |
美国麻萨诸塞州格洛斯特郡都利路35号 |