| 发明名称 | 用于压印光刻的压印物料 | ||
| 摘要 | 本发明涉及能够用于压印光刻的可固化压印物料，其由以下的混合物组成：至少一种可聚合主要组分和至少一种次要组分。此外，本发明涉及前述权利要求任一项的压印物料用于初步形成压印形式(4、4'、4''、4'''、4<sup>IV</sup>)的用途。 | ||
| 申请公布号 | CN105283805A | 申请公布日期 | 2016.01.27 |
| 申请号 | CN201380077583.1 | 申请日期 | 2013.06.19 |
| 申请人 | EV 集团 E·索尔纳有限责任公司 | 发明人 | M.舒伊基 |
| 分类号 | G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 邵长准;石克虎 |
| 主权项 | 能够用于压印光刻的可固化压印物料，其由以下的混合物组成：至少一种可聚合主要组分，及至少一种次要组分。 | ||
| 地址 | 奥地利圣弗洛里安 | ||