发明名称 一种靶圆精确度测量组件
摘要 本实用新型公开了一种靶圆精确度测量组件,包括圆柱形标靶主体、目标靶位、激光测距仪和处理器,所述的标靶主体底部安装底座,所述的底座由外侧向圆心方向呈阶梯型,所述的目标靶位圆心处安装激光测距仪,所述的激光测距仪的信号输出端与处理器的信号输入端相连。该组件通过底座阶梯型的映射,可以巧妙的判断标靶主体落入目标靶位的位置。
申请公布号 CN205002739U 申请公布日期 2016.01.27
申请号 CN201520795016.6 申请日期 2015.10.15
申请人 南京安力联电子科技有限公司 发明人 蒋静;蔡文生;张欣;蒋强
分类号 G01B11/00(2006.01)I;G09B19/00(2006.01)I 主分类号 G01B11/00(2006.01)I
代理机构 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人 汤东凤
主权项 一种靶圆精确度测量组件,包括圆柱形标靶主体、目标靶位、激光测距仪和处理器,其特征在于:所述的标靶主体底部安装底座,所述的底座由外侧向圆心方向呈阶梯型,所述的目标靶位圆心处安装激光测距仪,所述的激光测距仪的信号输出端与处理器的信号输入端相连。
地址 210039 江苏省南京市雨花区雨花创业园凤华路18号8栋112室