发明名称 |
一种靶圆精确度测量组件 |
摘要 |
本实用新型公开了一种靶圆精确度测量组件,包括圆柱形标靶主体、目标靶位、激光测距仪和处理器,所述的标靶主体底部安装底座,所述的底座由外侧向圆心方向呈阶梯型,所述的目标靶位圆心处安装激光测距仪,所述的激光测距仪的信号输出端与处理器的信号输入端相连。该组件通过底座阶梯型的映射,可以巧妙的判断标靶主体落入目标靶位的位置。 |
申请公布号 |
CN205002739U |
申请公布日期 |
2016.01.27 |
申请号 |
CN201520795016.6 |
申请日期 |
2015.10.15 |
申请人 |
南京安力联电子科技有限公司 |
发明人 |
蒋静;蔡文生;张欣;蒋强 |
分类号 |
G01B11/00(2006.01)I;G09B19/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 |
代理人 |
汤东凤 |
主权项 |
一种靶圆精确度测量组件,包括圆柱形标靶主体、目标靶位、激光测距仪和处理器,其特征在于:所述的标靶主体底部安装底座,所述的底座由外侧向圆心方向呈阶梯型,所述的目标靶位圆心处安装激光测距仪,所述的激光测距仪的信号输出端与处理器的信号输入端相连。 |
地址 |
210039 江苏省南京市雨花区雨花创业园凤华路18号8栋112室 |