用于执行图案对准的方法和装置

摘要

用于在直接写入机中图案化工件的对准方法，其中设置有板基准特征的基准板用于针对公共基准来协调测量站和写入站的校准。经调整的图案用于写在工件上，其相对于基准板的位置而被计算。

主权项

一种在写入机中图案化工件的一层的方法，其中所述写入机包括：图案写入站，其设置有写入机坐标系；以及测量站，其设置有测量坐标系，所述测量站被配置成执行与基准特征相关的工件上的物体的测量，其中所述工件还放置在承载台上，且其中所述写入机被配置成在所述测量站和所述写入站之间移动所述承载台，其中所述写入站通过使用曝光光或针对所述曝光光校准的系统在所述写入站中对连接到所述承载台的基准板的位置的测量来校准；所述方法包括下列步骤：a.提供连接到所述承载台的所述基准板，所述基准板具有在预定标称位置上的板基准特征；b.在所述测量站中测量至少一次所述工件的至少一个所述基准特征相对于所述基准板的位置；c.根据测量基准位置和所述工件的所述基准特征的标称位置来计算变换，所述变换描述所述测量基准位置与所述标称位置的偏差；d.将具有所述基准板的所述承载台从所述测量站移动到所述写入站；e.通过针对描述所述测量基准位置与所述标称位置的所述偏差的所述变换进行调整来将图案写在所述工件上。