用于底层的树脂

摘要

本发明涉及用于底层的树脂，具体地，某些经取代的四芳基甲烷单体的聚合反应产物在半导体制造工艺中适用作底层。

主权项

一种聚合反应产物，其包含一或多种式(1)的四芳基单体的聚合单元其中AG表示选自OR、NR₂以及SR的活化基团；Ar¹、Ar²、Ar³以及Ar⁴独立地表示芳基部分；R独立地选自H、任选经取代的C_1‑30烷基、任选经取代的C_2‑30烯基部分、任选经取代的C_2‑30炔基部分、任选经取代的C_7‑30芳烷基部分或任选经取代的C_6‑20芳基部分；R¹、R²、R³以及R⁴独立地选自任选经取代的C_1‑30烷基、任选经取代的C_2‑30烯基部分、任选经取代的C_2‑30炔基部分、任选经取代的C_7‑30芳烷基部分或任选经取代的C_6‑20芳基部分；Ar¹、Ar²、Ar³以及Ar⁴中的任何2者可以连同其所连接的碳原子一起形成5元或6元稠合脂环；a是0到4的整数；并且b、c以及d独立地是0到5的整数。