利用静电力对电容式压力传感器的自校准

摘要

本申请涉及利用静电力对电容式压力传感器的自校准。提供一种压力传感器校准系统，包括：一个或多个压力传感器，用于基于来自静电力的薄膜位移或薄膜偏转来校准传感器参数。测量部件测量与在所述一个或多个压力传感器的电极处的所施加的电压相对应的电容值。传感器参数从电容测量和压力测量中得到，由校准部件用于对所述一个或多个压力传感器的校准和再校准。

主权项

一种压力传感器校准系统，包括：第一压力传感器，包括第一多个电极和第一薄膜，所述第一薄膜被配置为根据静电力产生从第一位置到第二位置的位移；测量部件，被配置为通过所述第一薄膜根据所述静电力的所述位移并且确定对与在所述第一多个电极处的成组的所施加电压相对应的成组的电容值的测量；以及校准部件，被配置为利用第一压力和从所述成组的电容值的测量得到的一组传感器参数来将所述第一压力传感器校准到一组目标值。