| 摘要 |
1. Способ получения поликристаллического кремния с использованием способа Siemens, включающий первую стадию с относительно низкой подачей газа; последнюю стадию с относительно высокой подачей газа и промежуточную стадию, на которой количество подаваемого газа увеличивают от величины подачи на первой стадии до величины подачи на последней стадии при подаче исходного газа, содержащего газообразные хлорсиланы и газообразный водород, в реактор через входное отверстие с сопловой насадкой с целью осаждения поликристаллического кремния на кремниевой электродной проволоке, при этом все три стадии осуществляют при температуре реакции от 900 до 1250˚С и под давлением от 0,3 до 0,9 МПа, скорость у входного отверстия с сопловой насадкой составляет 150 м/с или более при максимальной подаче исходного газа на последней стадии, и подачу газа и температуру кремниевого стержня регулируют в соответствии со следующими условиями А-С в зависимости от диаметра D стержня поликристаллического кремния, который изменяется в ходе реакции осаждения после ее начала: условие А (количество подаваемых газообразных хлорсиланов): газообразные хлорсиланы подают в количестве одной трети или менее максимальной подачи газообразных хлорсиланов до тех пор, пока не будет достигнута заданная величина Dот 15 мм до 40 мм, подаваемое количество увеличивают постепенно или поэтапно до достижения максимальной подачи газообразного хлорсилана между тем, когда достигнута величина D, и тем, когда будет достигнута заданная величина Dот 15 до 40 мм, которая больше D, максимальную подачу газообразного хлорсилана поддерживают после достижения величины D; условие В (колич� |
