气体供给装置用流量控制器的校正方法及流量计测方法

摘要

仅将被校正流量控制器的出口侧开闭阀开放，而使设定流量的气体向校正单元（5）流入，在箱内气体压力及气体温度稳定的时刻t0，计测第1次的箱内的气体温度T0及气体压力P0，然后将校正单元（5）的出口侧开闭阀（V2）封闭，进行向箱（BT）内的气体的积累，在时刻t1将入口侧开闭阀（V1）封闭，并在该入口侧开闭阀（V1）的封闭后的时刻t2计测第2次的气体温度T2及气体压力P2，根据各计测值将气体流量Q作为Q=（22.4V/R･Δt）×（P2/T2－P0/T0）（其中，V是箱（BT）的内容积，R是气体常数，Δt是积累时间t1－t0）运算，通过设定气体流量与运算气体流量Q的对比进行流量校正。

主权项

一种气体供给装置用流量控制器的校正方法，其特征在于，在将多个种类的气体通过各流量控制器可切换地向气体使用部位供给的气体供给装置中，在上述气体供给装置的气体供给路线（L）上，以分支状连结流量控制器校正单元（5），所述流量控制器校正单元（5）由内容积V的积累箱（BT）、积累箱（BT）的入口侧开闭阀（V₁）及出口侧开闭阀（V₂）、和积累箱（BT）内气体的气体压力检测器（Pd）及气体温度检测器（Td）构成，并将该流量控制器校正单元（5）的出口侧开闭阀（V₂）连接在真空排气装置上；首先，将流量控制装置的各流量控制器的出口侧开闭阀（V₀₁～V_0n）及气体使用部位的入口开闭阀（V₀）封闭并将上述流量控制器校正单元（5）的出口侧开闭阀（V₂）及入口侧开闭阀（V₁）开放；接着，仅将被校正流量控制器的出口侧开闭阀开放，使设定流量的气体向上述流量控制器校正单元（5）流入，在上述积累箱内的气体压力及气体温度稳定的时刻计测第1次的积累箱内的气体温度T₀及气体压力P₀；并且，在时刻t₀将上述流量控制器校正单元（5）的出口侧开闭阀（V₂）封闭而进行向积累箱（BT）内的气体的积累；然后，在时刻t₁将入口侧开闭阀（V₁）封闭并在从上述入口侧开闭阀（V₁）的封闭起经过规定的时间后的时刻t₂计测第2次的气体温度T₂及气体压力P₂，根据上述各计测值将气体流量Q作为Q=（22.4V/R･Δt）×（P₂/T₂－P₀/T₀）运算，其中，V是积累箱（BT）的内容积，R是气体常数，Δt是积累时间t₁－t₀，通过上述设定气体流量与运算气体流量Q的对比，进行被校正流量控制器的流量校正。