| 发明名称 | 具有自我修复能力的复合阻隔结构 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种具有自我修复能力的复合阻隔结构，具有多个功能结构层，包括在基板之上依次叠置基础Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层、中部铝层、中部Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层和外部致密结构层，基础Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层构成第一道阻隔层，外部致密结构层能阻隔水氧分子透过，中部Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层和外部致密结构层共同构成第二道阻隔层，纯铝层作为修复剂层，能在叠置基础Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层和中部Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层出现缝隙缺陷时提供Al原子，在缺陷处自发氧化形成Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>，填补相应缺陷。本发明复合水氧阻隔层的多层复合结构既有优异的水氧阻隔性，又具备良好的重复弯曲性能及缺陷形成后的自我修复能力，在柔性衬底性能的水氧阻隔性、弯曲性能提升方面具有广泛应用前景。 | ||
| 申请公布号 | CN105280837A | 申请公布日期 | 2016.01.27 |
| 申请号 | CN201510589704.1 | 申请日期 | 2015.09.17 |
| 申请人 | 上海大学 | 发明人 | 张建华;张帅;陈龙龙 |
| 分类号 | H01L51/52(2006.01)I | 主分类号 | H01L51/52(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人 | 顾勇华 |
| 主权项 | 一种具有自我修复能力的复合阻隔结构，具有多个功能结构层，其特征在于：包括在基板（1）之上依次叠置基础Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层（2）、中部铝层（3）、中部Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层（4）和外部致密结构层，所述基础Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层（2）构成第一道阻隔层，所述外部致密结构层能阻隔水氧分子透过，所述中部Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层（4）和所述外部致密结构层共同构成第二道阻隔层，所述纯铝层（3）作为修复剂层，能在所述叠置基础Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层（2）和所述中部Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层（4）出现缝隙缺陷时提供Al原子，在缺陷处自发氧化形成Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>，填补相应缺陷。 | ||
| 地址 | 200444 上海市宝山区上大路99号 | ||