具有高生产率的离子注入机

摘要

本发明涉及一种离子注入机(100)，其包括：封闭室(101)，其连接于一个泵装置(102)；等离子源(115-121-122)；极化电源(113)；气体入口(117)，其布置在所述封闭室上；基材保持架(104)，其连接于该极化电源的负极，且布置在封闭室中。该离子注入机的特征在于，-基材保持架(104)至少由平行的两个板(105，106)组成；-参比电极至少由一个极片(110)组成，该参比电极连接于极化电源的正极；-该极片间置在两个板之间。

主权项

一种离子注入机(100)，其包括：‑封闭室(101，301，401)，其连接于一个泵装置(102，303)，‑等离子源(115‑121‑122，304‑320，330‑340，405‑406)，‑极化电源(113，327)，‑气体入口(117，302，402)，其布置在所述封闭室上，‑基材保持架(104，304)，其连接于所述极化电源的负极，且布置在所述封闭室中，其特征在于：‑所述基材保持架(104，304)至少由平行的两个板(105‑106，305‑306‑307‑308‑309)组成，‑参比电极至少由一个极片(110，321‑322‑323‑324)组成，所述参比电极连接于所述极化电源的正极，‑所述极片间置在两个板之间。