检测装置

摘要

本申请涉及检测装置。该检测装置形成在具有第一面、第二面和腔的半导体材料的本体中。检测区域形成在腔中，并且气泵集成在本体中并且被配置成迫使气体朝向检测区域运动。光学型检测系统或者阿尔法粒子检测器至少部分地布置在检测区域中。根据本实用新型的实施例，可以实现增加检测效率并具有高灵敏度和短测量时间、小尺寸、低成本的集成检测装置。

主权项

一种检测装置，其特征在于，包括：半导体材料的本体，具有第一面、第二面和腔；检测区域，在所述腔中；气泵，被集成在所述本体中，并被配置成迫使气体朝向所述检测区域运动；以及检测系统，至少部分地被布置在所述检测区域中。