发明名称 |
压印装置、使用该压印装置的物品制造方法和压印方法 |
摘要 |
本发明公开了压印装置、使用该压印装置的物品制造方法和压印方法。该压印装置包括:保持单元,被配置为通过使用包含多个吸附力产生部的吸附单元来保持模具;吸附力调整单元,被配置为能够调整所述多个吸附力产生部的吸附力;以及形状校正单元,被配置为通过向所述模具施加力来使所述模具的图案区域的形状与所述基板的基板侧图案区域的形状对准。在通过使用所述形状校正单元向所述模具施加力的情况下,所述吸附力调整单元将向所述模具施加吸附的吸附表面的预定区域配置为吸附区域,并且,调整多个吸附力产生部的吸附力,使得其它区域上的吸附力比所述吸附区域上的吸附力小。 |
申请公布号 |
CN103135341B |
申请公布日期 |
2016.01.27 |
申请号 |
CN201210493215.2 |
申请日期 |
2012.11.28 |
申请人 |
佳能株式会社 |
发明人 |
宫田巨树 |
分类号 |
G03F7/00(2006.01)I;B29C59/02(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
康建忠 |
主权项 |
一种压印装置,被配置为通过使模具与基板上的未固化树脂接触并且使该未固化树脂固化来在所述基板上形成固化树脂的图案,该压印装置包括:保持单元,被配置为通过使用包含多个吸附力产生部的吸附单元来保持模具;吸附力调整单元,被配置为能够调整所述多个吸附力产生部的吸附力;以及形状校正单元,被配置为通过向所述模具施加力来使所述模具的图案区域的形状与所述基板的基板侧图案区域的形状对准,其中,在通过使用所述形状校正单元向所述模具施加力的情况下,所述吸附力调整单元调整多个吸附力产生部的吸附力,使得由吸附力产生部施加到要被吸附的所述模具的表面的一部分的第一区域的吸附力比施加到所述表面的另一部分的第二区域的吸附力小。 |
地址 |
日本东京 |