一种真空低温恒温器

摘要

本发明提供一种真空低温恒温器，包括：维持真空的真空腔；悬设在真空腔内部的用于盛装第一致冷剂的第一腔(4)，其连接有至少两根用于引入和/或排出流体的第一导管(2)，第一腔(4)下方为冷却区域；悬设在真空腔内部并围绕第一腔(4)设置的用于盛装第二致冷剂的第二腔(5)，第二致冷剂在标准大气压下的沸点高于第一致冷剂，第二腔(5)连接有至少两根用于引入和/或排出流体的第二导管(3)，第二腔(5)能够给第一腔(4)提供外部降温。其中，第二腔(5)与第一腔(4)由真空隔开。本发明具有对沸点低的致冷剂的消耗低，震动小的特点。

主权项

一种真空低温恒温器，包括：维持真空的真空腔；悬设在该真空腔内部的用于盛装第一致冷剂的第一腔(4)，该第一腔(4)连接有至少两根用于引入和/或排出流体的第一导管(2)，该第一腔(4)下方为冷却区域；悬设在该真空腔内部并围绕该第一腔(4)设置的用于盛装第二致冷剂的第二腔(5)，该第二致冷剂在标准大气压下的沸点高于该第一致冷剂，该第二腔(5)连接有至少两根用于引入和/或排出流体的第二导管(3)，该第二腔(5)能够给该第一腔(4)提供外部降温，其特征是，该第二腔(5)与该第一腔(4)由真空隔开，其中，该第一腔(4)与该真空腔通过减震机构相联结，该减震机构包括顶法兰(12)、中间法兰(10)、若干翼板(13)以及气垫腿(14)，该顶法兰(12)固定连接该第一腔(4)，该中间法兰(10)固定连接该第二腔(5)，并且通过波纹管(17)柔性密封连接该顶法兰(12)并通过外套管(1)固定密封连接真空腔，所述若干翼板(13)自该顶法兰(12)和该中间法兰(10)周缘的对应位置向外径向延伸，该气垫腿(14)适于缓冲震动，并且夹设于两块位置对应的该翼板(13)之间。