清洗药液供给装置、清洗药液供给方法及清洗单元

摘要

本发明提供一种能够与稀释比例的变更灵活地相对应，且能够抑制装置尺寸大型化的清洗药液供给装置、清洗药液的供给方法及清洗单元，清洗药液供给装置具有：第1直列式混合器，将第1清洗药液供给到清洗装置；第2直列式混合器，将第2清洗药液供给到基板清洗装置；第1药液CLC箱，对供给到第1直列式混合器的第1药液的流量进行控制；第2药液CLC箱，对供给到第2直列式混合器的第2药液的流量进行控制；以及DIWCLC箱，对供给到第1直列式混合器或第2直列式混合器的稀释水的流量进行控制，且清洗药液供给装置构成为：将稀释水的供给目的地从第1直列式混合器切换到第2直列式混合器，或从第2直列式混合器切换到第1直列式混合器。

主权项

一种清洗药液供给装置，用于将清洗药液供给到基板清洗装置，该清洗药液供给装置的特征在于，具有：第1混合部，该第1混合部用于将对第1药液和稀释水进行混合所得到的第1清洗药液供给到所述基板清洗装置；第2混合部，该第2混合部用于将对第2药液和稀释水进行混合所得到的第2清洗药液供给到所述基板清洗装置；第1药液控制部，该第1药液控制部用于对供给到所述第1混合部的所述第1药液的流量进行控制；第2药液控制部，该第2药液控制部用于对供给到所述第2混合部的所述第2药液的流量进行控制；稀释水控制部，该稀释水控制部用于对供给到所述第1混合部或所述第2混合部的所述稀释水的流量进行控制；以及稀释水供给切换部，该稀释水供给切换部将所述稀释水的供给目的地从所述第1混合部切换到所述第2混合部，或者从所述第2混合部切换到所述第1混合部。