光学元件夹持装置

摘要

光学元件夹持装置，属于光学元件检测技术领域。解决了现有光学元件检测装置检测重复性差的问题。该装置包括底座和三个以上的夹持单元，每个夹持单元包括微分头、测力计、夹持头、柔性铰链支撑、导轨组件和固定调整机构，导轨组件沿中心通光孔的径向设置，固定调整机构的底部固定在导轨组件的滑板上，中部设有刻度，上部能够沿中部在Z轴方向上移动，柔性铰链支撑固定在固定调整机构的底部上且与待测光学元件的下表面接触，微分头和夹持头分别固定在测力计的两端，微分头的另一端固定在固定调整机构的上部，夹持头的另一端与待测光学元件的上表面接触。该装置能够使光学元件在检测时具备良好的受力重复性，尤其适用于投影光刻物镜的检测。

主权项

光学元件夹持装置，包括设有中心通光孔(7‑2)的底座(7)；其特征在于，还包括三个以上的夹持单元；所述夹持单元主要包括微分头(1)、测力计(2)、夹持头(3)、柔性铰链支撑(5)、固定调整机构和导轨组件(6)；所述导轨组件(6)主要由导轨和滑板组成，导轨固定在底座(7)上且沿中心通光孔(7‑2)的径向设置，滑板设置在导轨内，并在导轨内沿中心通光孔(7‑2)的径向运动；所述固定调整机构的底部固定在导轨组件(6)的滑板上，中部设有刻度，上部能够沿中部在Z轴方向上移动；所述柔性铰链支撑(5)固定在固定调整机构的底部上，且与待测光学元件(4)的下表面接触，用于支撑待测光学元件(4)；所述微分头(1)和夹持头(3)分别固定在测力计(2)的两端，微分头(1)的另一端固定在固定调整机构的上部，夹持头(3)的另一端与待测光学元件(4)的上表面接触。