发明名称 CMOS可兼容的多晶硅化物熔丝结构及其制造方法
摘要 描述了CMOS可兼容的多晶硅化物熔丝结构和制造CMOS可兼容的多晶硅化物熔丝结构的方法。在示例中,半导体结构包括衬底。多晶硅化物熔丝结构设置在衬底之上并且包括硅和金属。金属氧化物半导体(MOS)晶体管结构设置在衬底之上并且包括金属栅电极。
申请公布号 CN105283961A 申请公布日期 2016.01.27
申请号 CN201380076882.3 申请日期 2013.06.25
申请人 英特尔公司 发明人 J-Y·D·叶;C-H·杨;W·M·哈佛滋;J·帕克
分类号 H01L29/78(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I 主分类号 H01L29/78(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 何焜
主权项 一种半导体结构,包括:衬底;多晶硅化物熔丝结构,设置在衬底之上并且包括硅和金属;以及设置在衬底之上的金属氧化物半导体(MOS)晶体管结构,所述MOS晶体管结构包括金属栅电极。
地址 美国加利福尼亚州