操作粒子光学单元的粒子束系统和方法

摘要

一种操作多波束粒子光学单元的方法，包括：(1)提供粒子光学部件的效应的第一设定，其中粒子光学成像可通过至少两个参数来表征；(2)确定矩阵A；使得以下适用：，其中且，其中，表示在所述第一设定的情况下的部件的效应的改变，表示在所述第一设定的情况下的参数的改变；(3)确定矩阵S，使得以下适用：S·A＝D_A，其中D_A是对角矩阵；(4)限定表征期望的成像的参数的值；(5)提供所述部件的效应的第二设定，使得所述粒子光学成像由具有限定值的参数表征，其中所述第二设定所需的效应根据以下来确定：，其中且，其中，表示在所述第二设定的情况下部件的效应，并且表示所述参数的限定值。

主权项

一种操作多波束粒子光学单元的方法，其中，所述多波束粒子光学单元具有至少两个粒子光学部件，多个粒子束均通过所述至少两个粒子光学部件，并且所述至少两个粒子光学部件对所述粒子束的效应是可设定的，并且其中所述方法包括：(1)提供所述粒子光学部件的效应的第一设定，使得具有所述粒子束的粒子的第一平面被粒子光学地成像到第二平面中，其中所述粒子光学成像可通过至少两个参数来表征；(2)确定矩阵A，使得以下适用：其中且其中，是具有分量w₁¹，w₂¹，......，w_n¹的矢量，其中n是粒子光学部件的数目，并且所述分量中的每一个表示在所述第一设定的情况下所述粒子光学部件中的一个的效应的值，是具有分量w₁，w₂，......，w_n的矢量，所述分量表示在与所述第一设定不同的设定的情况下所述粒子光学部件的效应的值，是具有分量p₁¹，p₂¹，......，p_m¹的矢量，其中m是表征所述粒子光学成像的参数的数目，并且所述分量中的每一个表示在所述第一设定的情况下所述参数中的一个的值，以及是具有分量p₁，p₂，......，p_m的矢量，所述分量表示在与所述第一设定不同的设定的情况下所述参数的值；(3)确定矩阵S，使得以下适用：S·A＝D_A，其中D_A是对角矩阵；(4)限定表征期望的粒子光学成像的参数的值；(5)提供所述粒子光学部件的效应的第二设定，使得所述粒子光学成像由具有限定值的参数表征，其中所述第二设定所需的效应根据以下来确定：其中且其中：是具有分量w₁²，w₂²，......，w_n²的矢量，所述分量表示在所述第二设定的情况中所述粒子光学部件的效应的值，是具有分量p₁²，p₂²，......，p_n²的矢量，所述分量表示所述参数的限定值。