| 发明名称 | 用于麦克风的系统和方法 | ||
| 摘要 | 本发明的各个实施例涉及用于麦克风的系统和方法。根据一个实施例，微制造结构包括设置在衬底中的空腔、覆在衬底上面的第一夹固层、覆在第一夹固层上面的可偏转膜、以及覆在可偏转膜上面的第二夹固层。第二夹固层的部分与空腔重叠。 | ||
| 申请公布号 | CN105282678A | 申请公布日期 | 2016.01.27 |
| 申请号 | CN201510305668.1 | 申请日期 | 2015.06.05 |
| 申请人 | 英飞凌科技股份有限公司 | 发明人 | W·克莱因;R·加布尔 |
| 分类号 | H04R31/00(2006.01)I | 主分类号 | H04R31/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 王茂华 |
| 主权项 | 一种微制造结构，包括：空腔，设置在衬底中；第一夹固层，覆在所述衬底上面；可偏转膜，覆在所述第一夹固层上面；以及第二夹固层，覆在所述可偏转膜上面，其中所述第二夹固层的部分与所述空腔重叠。 | ||
| 地址 | 德国诺伊比贝尔格 | ||