透射来自样品的发射物的带电粒子透镜

摘要

本发明涉及透射来自样品的发射物的带电粒子透镜。提供了一种在用于检测X射线和光的带电粒子束镜筒中的透射性透镜。末级透镜可以包括用于EDS成像和分析的对于X射线是透射性的元件或者用于阴极发光(CL)成像和分析的对于光是透射性的元件。该末级透镜可以被构造和布置为包括用于组合EDS和CL成像和分析的对于X射线和光两者均是透光性的元件。

主权项

一种用于在带电粒子束系统内使用的静电透镜，包括：相互间隔以限定光轴的多个聚焦元件，所述带电粒子束沿着所述光轴行进穿过所述透镜并且行进到紧密邻近所述透镜放置的样品上，导致来自样品的放射物被往回辐射穿过所述透镜，其中，所述元件中的至少一个对于所述放射物是透射性的；以及用于检测所述放射物的至少一个检测器。