一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备

摘要

本发明公开了一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备，该可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备由箱体、基片架、加热器、导杆、传动轮、上横梁、下横梁构成，所述加热器位于箱体两侧真空室壁上，没有靶位的地方均设有加热器，加热器的数量是常规设计的1.5倍，且加热器采用分段式，这样可以提高加热效率，而且可以分段控制温度，能够更好的保证玻璃受热均匀，最主要的是解决了现有技术无法完成基板两面同时镀膜的缺陷，降低了双面膜产品的生产成本尺寸，提高了生产效率和产品的良率，其设计思路具有领先地位。

主权项

一种可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备，其特征在于：该可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备由箱体(1)、基片架(2)、加热器(3)、导杆(4)、传动轮(5)、上横梁(6)、下横梁(7)构成，所述加热器(3)位于箱体(1)两侧真空室壁上，没有靶位的地方均设有加热器(3)，加热器(3)的数量是常规设计的1.5倍，且加热器(3)采用分段式，这样可以提高加热效率，而且可以分段控制温度，能够更好的保证玻璃受热均匀；所述基片架(2)分别卡在上横梁(6)与下横梁(7)两侧，实现单面镀膜；所述基片架(2)改成位于上横梁(6)与下横梁(7)中间，用卡具(8)卡住固定，实现双面镀膜；所述加热器(3)采用上、中、下分段式加热；该可同时实现玻璃基板单、双面镀膜设备的正反两面的靶位采用错位排布，可以避免两边同时溅射时，正对靶位之间的干扰。