一种膜厚测量装置及方法

摘要

本发明提供了一种膜厚测量装置及方法，所述装置包括：准直透镜、第一半透半反镜、物镜、第二半透半反镜、收集光纤、图像传感器、计算机以及分光单元；其中，所述分光单元，用于对所述收集光纤收集到的光进行分光处理，分离得到各个波长的光；所述计算机，用于获取不同波长的光的强度，计算得到被测物的膜厚。本发明通过分光单元对收集光纤收集到的光进行分光，得到所述光包含的各个波长的光，扩大了膜厚测量装置取样点的频谱范围，提高了分辨率；进一步地，还可以通过光纤探针的位置调整，灵活控制取样点数目及取样点位置，提高了处理数据的灵活性，实现高精度的膜厚测量。

主权项

一种膜厚测量装置，包括准直透镜、第一半透半反镜、物镜、第二半透半反镜、收集光纤、图像传感器、计算机，其特征在于，所述装置还包括分光单元；其中，所述分光单元，用于对所述收集光纤收集到的光进行分光处理，分离得到各个波长的光；所述计算机，用于获取不同波长的光的强度，计算得到被测物的膜厚；其中，所述装置还包括光纤探针，用于通过自身位置的调整获取所述分光单元分离得到的不同波长的光强度；所述光纤探针具体用于根据用户输入的收集指令，进行自身位置的调整及不同波长的光的采样点数目的确定。