基于谱域干涉仪的折射率和厚度同步测量系统

摘要

本实用新型公开了一种基于谱域干涉仪的折射率和厚度同步测量系统，基于谱域低相干干涉探测系统，通过将被测样品插入样品臂光路，使得一部分光束穿透被测样品，另一部分光束不通过被测样品，两部分光都照射在一块平面反射镜上并通过反射返回系统。从被测样品前、后表面返回的光之间形成一组干涉信号，从样品臂中的平面反射镜反射回的、穿透被测样品与不通过样品的光束之间形成另一组干涉信号，通过光谱仪对这两组干涉信号的光谱进行探测，通过计算机进行数据采集及处理，能同时得到被测样品的厚度与折射率信息。该测量系统具有的优点有，不需移动系统中的任何元件、结构稳定，只需一次测量即可同时得到被测样品的折射率和厚度信息。

主权项

基于谱域干涉仪的折射率和厚度同步测量系统，包括宽带光源(1)、光纤环行器(2)、样品臂(3)、光谱仪(4)和计算机(5)，其中，样品臂(3)包括第一光纤准直镜(6)、被测样品(7)、第一聚焦透镜(8)和平面镜(9)，光谱仪(4)包括第二光纤准直镜(10)、衍射光栅(11)、第二聚焦透镜(12)和探测器CCD(13)，其特征在于：进入样品臂(3)的探测光束一部分透过被测样品(7)被收集和分析，另一部分光束不透过被测样品(7)被收集和分析，探测器CCD(13)探测从被测样品(7)前、后表面反射回来的光信号，从平面镜(9)反射回来的经过以及不经过被测样品(7)的光信号。