| 摘要 |
본체(2)는, 통로 블록(3)이 복수 배치됨으로써 형성되어 있다. 각 통로 블록(3)은, 메인 가스 통로(9)를 형성하는 통로로서, 제1 역 V자형 통로(15)와, 제1 역 V자형 통로(15)의 정상부와 제1 개폐 밸브(4)의 출구(4b)를 연통(連通)하는 제1 출구 통로(16)를 갖고 있다. 각 통로 블록(3)은, 벤트 가스 통로(10)를 형성하는 통로로서, 제2 역 V자형 통로(17)와, 제2 역 V자형 통로(17)의 정상부와 제2 개폐 밸브(5)의 출구(5b)를 연통하는 제2 출구 통로(18)를 갖고 있다. 각 통로 블록(3)은, 제1 서브 가스 유입 통로(11)를 형성하는 통로로서, 제1 개폐 밸브(4)의 입구(4a)로 통하는 제1 입구 통로(19)와, 공통 입구 통로(20)를 갖고 있다. 각 통로 블록(3)은, 제2 서브 가스 유입 통로(12)를 형성하는 통로로서, 제2 개폐 밸브(5)의 입구(5a)로 통하는 제2 입구 통로(21)와, 공통 입구 통로(20)에 연속되는 연통로(22)를 갖고 있다. |
