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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR SEALING AN OPENING OF A PROCESSING CHAMBER
摘要 프로세싱 챔버의 개구를 밀봉하는 방법 및 장치가 제공된다. 일 실시예에서, 본 발명은 챔버의 벽 내에 개구를 밀봉하기 위해 프로세싱 챔버의 벽 내에 통합된 밀폐 부재를 제공한다. 다른 실시예에서, 본 발명은 챔버 내부로부터 프로세싱 챔버의 벽에 있는 개구를 밀봉하도록 구성된 폐쇄 부재를 제공한다.
申请公布号 KR101588565(B1) 申请公布日期 2016.01.26
申请号 KR20107011958 申请日期 2008.10.15
申请人 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 发明人 쿠리타, 시니치;마츠모토, 타카유키;티너, 로빈, 엘.;화이트, 존, 엠.;앤워, 수하일
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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