| 摘要 |
유지면의 평탄성 정밀도를 높이고 피연마물의 면내 균일성을 향상시킬 수 있는 유지 패드를 제공한다. 유지 패드(10)는, 습식 응고법에 의해 형성되고 유지면(Sh)을 가지는 우레탄 시트(2)를 구비하고 있다. 우레탄 시트(2)에는 스킨층(2a)이 형성되어 있고, 스킨층(2a)에서 내측으로 다수의 발포(4)가 형성되어 있다. 발포(4)는, 우레탄 시트(2)의 두께의 거의 전체에 걸친 크기를 가지고 있다. 발포(4)는, 우레탄 시트(2)의 하부층(Pr)에서의 구경이 상부층(Ph)에서의 구경보다 크게 형성되어 있다. 발포(4)는, 상부층(Ph)에서의 발포 형성 방향이 두께 방향에 대해서 일정 방향으로 동일하게 경사지도록 형성되어 있고, 하부층(Pr)에서의 발포 형성 방향이 두께 방향을 따르도록 형성되어 있다. 연마 가공 시의 압축으로 피연마물에 대한 응력이 균등화된다. |
