| 摘要 |
성막 방법은, 상기 회전 테이블을 회전시키면서, 상기 분리 가스 공급부로부터 상기 분리 가스를 공급하여 상기 제1 처리 영역과 상기 제2 처리 영역을 분리하면서, 상기 제1 가스 공급부로부터 상기 제1 처리 영역으로 제1 반응 가스를 공급하는 동시에, 상기 제2 가스 공급부로부터 상기 제2 처리 영역으로, 상기 제1 반응 가스와 반응할 수 있는 제2 반응 가스를 공급하는 스텝과, 상기 회전 테이블을 회전시키면서, 상기 분리 가스 공급부로부터 상기 분리 가스를 공급하여 상기 제1 처리 영역과 상기 제2 처리 영역을 분리하면서, 상기 제1 가스 공급부로부터 반응 가스를 공급하는 일 없이, 상기 제2 가스 공급부로부터 상기 제2 처리 영역으로 상기 제2 반응 가스를 소정의 기간 공급하는 스텝을 포함한다. |
