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진동 검출기의 구성을, 외부로부터의 진동에 의하여 변형과 마찰의 적어도 한쪽이 발생함으로써 열을 발생시키는 발열 부재와, 발열 부재로부터의 열유속을 검출하는 검출 소자를 구비하고, 검출 소자의 검출 결과에 기초하여 진동에 관한 정보를 검출하는 구성으로 한다. 그리고 검출 소자로서, 열가소성 수지로 이루어지는 절연 기재(100)에 두께 방향으로 관통하는 복수의 제 1, 제 2 비아홀(101, 102)이 형성되어 있는 것과 함께, 제 1, 제 2 비아홀(101, 102)에 서로 다른 금속으로 구성된 제 1, 제 2 층간 접속 부재(130, 140)가 매립되어, 제 1, 제 2 층간 접속 부재(130, 140)가 번갈아 직렬 접속된 구조를 갖고, 또한, 제 1, 제 2 층간 접속 부재를 형성하는 금속이, 복수의 금속 원자가 상기 금속 원자의 결정 구조를 유지한 상태로 소결된 소결 합금인 것을 채용한다. |
