| 摘要 |
Waferträger, der für den Gebrauch mit einer Vorrichtung zur chemischen Gasphasenabscheidung ausgelegt ist, wobei der Waferträger umfasst: einen Körper, der eine obere Fläche und eine untere Fläche, die einander gegenüber angeordnet sind, aufweist, eine Mehrzahl von Taschen, die in der oberen Fläche des Waferträgers definiert sind, wobei die Verbesserung umfasst, dass die Mehrzahl von Taschen aus insgesamt vierzehn Taschen besteht, wobei jede der Taschen entlang eines von zwei Kreisen angeordnet ist, wobei die zwei Kreise miteinander und mit einem durch einen Umfang der oberen Fläche gebildeten kreisförmigen Umriss konzentrisch sind. |
