发明名称 |
CONTACT RING FOR AN ELECTROCHEMICAL PROCESSOR |
摘要 |
전해 프로세싱 장치는 헤드 내의 로터, 및 로터 상의 컨택 링 조립체를 포함한다. 컨택 링 조립체는 링 베이스 상에 하나 또는 둘 이상의 컨택 핑거들의 스트립들을 가질 수 있으며, 컨택 핑거들은 링 베이스 상의 위치에 클램핑되어 있다. 스트립들은 이격된 돌기 개구들을 가질 수 있으며, 링 베이스 상의 돌기들은 돌기 개구들 속으로 연장되거나 돌기 개구들을 관통한다. 컨택 핑거들을 제자리에 클램핑하고/또는 컨택 핑거들의 적어도 일부 위에 전기장 쉴드를 제공하기 위해, 링 베이스에 쉴드 링이 부착될 수 있다. 컨택 핑거들은 복수의 인접하는 포크들로서 제공될 수 있으며, 실질적으로 각각의 포크는 적어도 2개의 컨택 핑거들을 포함한다. |
申请公布号 |
KR101587819(B1) |
申请公布日期 |
2016.01.22 |
申请号 |
KR20147017674 |
申请日期 |
2012.11.14 |
申请人 |
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 |
发明人 |
해리스, 랜디, 에이.;맥휴, 폴, 알.;윌슨, 그레고리, 제이. |
分类号 |
B24B37/32;H01L21/304;H01L21/3065 |
主分类号 |
B24B37/32 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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