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<p>Mikromechanisches Element (100, 150, 300, 400) mit folgenden Merkmalen: einem plattenförmigen, mikromechanischen Funktionselement (110), wobei eine Krümmung einer Hauptfläche (212) des plattenförmigen, mikromechanischen Funktionselements (110) veränderbar ist, einem inneren Rahmen (120), der das plattenförmige, mikromechanische Funktionselement (110) entlang eines Randes der Hauptfläche (212) des plattenförmigen, mikromechanischen Funktionselements (110) umschließt und über eine Mehrzahl von Verbindungsstücken (122) mit dem plattenförmigen, mikromechanischen Funktionselement (110) verbunden ist; und einem äußeren Rahmen (130), der über zumindest zwei Halteelemente (132) mit dem inneren Rahmen (120) verbunden ist, wobei der innere Rahmen (120) mit dem plattenförmigen, mikromechanischen Funktionselement (110) und dem äußeren Rahmen (130) verbunden ist, so dass ein Betrag eines ersten Winkels (228) zwischen der Hauptfläche (212) des plattenförmigen, mikromechanischen Funktionselements (110) an dem Rand (214) des plattenförmigen, mikromechanischen Funktionselements (110) und einer Hauptfläche (222) des inneren Rahmens (120) an einem dem plattenförmigen, mikromechanischen Funktionselement (110) zugewandten Rand (224) des inneren Rahmens (120) kleiner ist als ein Betrag eines zweiten Winkels (238) zwischen einer Hauptfläche (232) des äußeren Rahmens (130) und der Hauptfläche (222) des inneren Rahmens (120) an einem dem äußeren Rahmen (130) zugewandten Rand (226) des inneren Rahmens (120), wenn die Hauptfläche (212) des plattenförmigen, mikromechanischen Funktionselements (110) in einem gekrümmten Zustand ist.</p> |
