基板处理装置、基板处理系统、基板处理装置之控制方法及记录媒体

摘要

明之基板处理装置系设置有复数个功能部200、300、400、500，其等选择性地被设定为可对基板执行各自被分派之任务处理之运转状态、与能量之消耗量少于运转状态之待机状态；及装置控制部50，其于运转状态与待机状态之间，控制各功能部200、300、400、500之状态，并且于执行规定对基板之处理顺序之制程配方时，使被分派与制程配方对应之任务处理之功能部被设定为运转状态，执行任务处理。而且，若被赋予预定执行制程配方，该预定执行制程配方系以后所执行之预定之制程配方，则装置控制部50自复数个功能部200、300、400、500中确定可被分派与预定执行制程配方对应之任务处理之功能部，求出使被指定之功能部恢复为运转状态所需之资源之消耗量。

主权项

一种基板处理装置，其特征在于包括：复数个功能部，其等选择性地被设定为可对基板执行各自被分派之任务处理之运转状态、与能量之消耗量少于上述运转状态之待机状态；控制部，其于上述运转状态与上述待机状态之间，控制上述各功能部之状态，并且于执行规定对上述基板之处理顺序之制程配方时，使被分派与上述制程配方对应之上述任务处理之上述功能部被设定为上述运转状态，执行上述任务处理；及资源消耗量获取部，其若被赋予预定执行制程配方，该预定执行制程配方系以后执行之预定之上述制程配方，则执行自上述复数个功能部中确定可被分派与上述预定执行制程配方对应之上述任务处理之上述功能部的指定操作，求出使上述指定操作中被指定之指定功能部恢复为上述运转状态所需之资源之消耗量。