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<p>Verfahren zum dreidimensionalen Messen einer Höhe eines zu messenden Objektteils (K), wobei das Verfahren eine Kombination aus einem Verfahren zum räumlichen Kodieren und einem Phasenverschiebungsverfahren ist und die Schritte umfasst:–Bestrahlen des Objektteils (K), mit einer Mehrzahl für das Phasenverschiebungsverfahren verwendeten ersten streifenförmigen Lichtmustern;–Abbilden des mit den ersten streifenförmigen Lichtmustern bestrahlten Objektteils (K) um eine erste Mehrzahl von Bildsätzen zu erzeugen;–Berechnen, unter Verwendung des Phasenverschiebungsverfahrens, von ersten Höhendaten, sogenannten Kandidatenhöhen des Objektteils (K) auf der Grundlage der ersten Mehrzahl von Bildsätzen, wobei die Kandidatenhöhen aufgrund der Phasenbeziehung mehrdeutig sind;–Gewinnen von zweiten Höhendaten des Objektteils (K) aufgrund von Bibliotheksdaten; wobei falls die zweiten Höhendaten kleiner als ein vorbestimmter erster Wert sind,–die tatsächliche Höhe des Objektteils (K) nur unter Verwendung des Phasenverschiebungsverfahrens bestimmt wird, ohne das Verfahren zur räumlichen Kodierung anzuwenden; und falls die zweiten Höhendaten größer oder gleich als der vorbestimmte erste Wert sind,–das Objektteil (K) mit zwei oder mehr unterschiedlichen zweiten streifenförmigen Lichtmustern, für das Verfahren zum räumlichen Kodieren, bestrahlt wird,–das mit den zwei oder mehr unterschiedlichen zweiten streifenförmigen Lichtmustern bestrahlte Objektteil (K), abgebildet wird um eine zweite Mehrzahl von Bildsätzen zu erzeugen;–eine Linienordnungszahl des Objektteils (K), zur Unterscheidung von identischen Phasenwinkeln in ...</p> |
