溅镀设备

摘要

作揭示一种用于一旋转式靶阴极之磁电管总成，其包括一细长支撑结构、可移动地定位在该支撑结构下方之一磁棒结构、及耦合至该支撑结构之复数个驱动模组。该等驱动模组各包含可操作地耦合至该磁棒结构之一机动化致动机构。一控制器及电池模组耦合至该支撑结构且与该等驱动模组可操作地通信。该控制器及电池模组包含一电子控制器及至少一可再充电电池。该电池经组态以对各机动化致动机构及该电子控制器供能。一或多个发电模组耦合至该支撑结构且与该电池电连通，使得来自该等发电模组之电能输出对该电池进行再充电。

主权项

一种用于一旋转式靶阴极之磁电管总成，该磁电管总成包括：一细长支撑结构；一磁棒结构，其可移动地定位在该支撑结构下方；复数个驱动模组，其耦合至该支撑结构，该等驱动模组各包含可操作地耦合至该磁棒结构之一机动化致动机构；一控制器及电池模组，其耦合至该支撑结构且与该等驱动模组可操作地通信，该控制器及电池模组包含一电子控制器及至少一可再充电电池，该电池经组态以对各机动化致动机构及该电子控制器供能；及一或多个发电模组，其耦合至该支撑结构且与该电池电连通使得来自该一或多个发电模组之电能输出对该电池进行再充电。