| 发明名称 |
导电性薄膜，形成导电性薄膜的涂布液，场效应电晶体以及制造场效应电晶体的方法 |
| 摘要 |
明提供一种导电性薄膜，该导电性薄膜包含：一含有铟与锡的金属氧化物；以及金。
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| 申请公布号 |
TWI518796 |
申请公布日期 |
2016.01.21 |
| 申请号 |
TW102109480 |
申请日期 |
2013.03.18 |
| 申请人 |
理光股份有限公司 |
发明人 |
松本真二;植田尙之;中村有希;安部由希子;高田美树子;曾根雄司;早乙女辽一 |
| 分类号 |
H01L21/336(2006.01);H01L21/28(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/336(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪尧顺 |
| 主权项 |
一种导电性薄膜，包含：一金属氧化物，该金属氧化物包含铟和锡；以及金，其中铟原子的数量(A)、锡原子的数量(B)以及金原子的数量(C)满足下面的公式(1)：
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| 地址 |
日本 |
