| 发明名称 |
正型感光性树脂组成物及使用它的硬化膜形成方法 |
| 摘要 |
正型感光性树脂组成物及使用它的硬化膜形成方法，其中正型感光性树脂组成物之特征在于：含有藉由解离性基解离而生成羧基之特定丙烯酸系构造单位，其系硷不溶性或硷难溶性，并且于酸解离性基解离时，成为硷可溶性之树脂；具有由含有环氧基之自由基聚合性单体所衍生之构造单位的树脂；在一分子内具有2个以上环氧基之化合物(但是，除了含有由含有环氧基之自由基聚合性化合物而成之构造单位的该树脂以外。)；及含有藉由波长300nm以上之活性光线的照射而产生酸之化合物。
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| 申请公布号 |
TWI518458 |
申请公布日期 |
2016.01.21 |
| 申请号 |
TW103110227 |
申请日期 |
2009.03.27 |
| 申请人 |
富士软片股份有限公司 |
发明人 |
泷田敏 |
| 分类号 |
G03F7/039(2006.01);G03F7/004(2006.01);C08F20/26(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/039(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
何金涂 |
| 主权项 |
一种正型感光性树脂组成物，其特征为包含：(A1)含有下列通式(1)所示之构造单位，并系硷不溶性或硷难溶性，并且于酸解离性基解离时，成为硷可溶性之树脂；(A2)具有由含有环氧基之自由基聚合性单体所衍生之构造单位的聚合物或共聚物；(B)在一分子内具有2个以上环氧基之化合物(但是，除了该A2以外)；及(C)藉由波长300nm以上之活性光线的照射而产生酸之化合物，
于通式(1)中，R1系表示氢原子、甲基、卤素原子或氰基；R2与R3系分别独立表示氢原子、直链状或分枝状烷基，但是，排除R2与R3同时为氢原子之情形；R4系表示也可以被取代之直链状、分枝状或是环状烷基或芳烷基；R2与R4也可以连结而形成环状醚。
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| 地址 |
日本 |
