气液混合机构与制程设备

摘要

作揭露一种气液混合机构，其包含第一管路、第二管路、第三管路及立体扰流装置。第二管路连通第一管路。第三管路连通第一管路与第二管路的连通交接位置。立体扰流装置设于第三管路内，且立体扰流装置与交接处相隔一距离，立体扰流装置包含导流鳍片与导流孔。第一、二管路分别用以提供气体与液体流入，第三管路用以输出液体与气体，当液体流入第三管路时，立体扰流装置在液体中立体旋转，导流鳍片将气体细化为液体中的微小气泡，导流孔扰动微小气泡与液体，进而使微小气泡与液体混合。此外，一种制程设备亦被提出。

主权项

一种气液混合机构，包括：一第一管路，用以提供一气体流入；一第二管路，连通该第一管路，该第二管路用以提供一液体流入，该第二管路包含一交接处，该交接处为该第一管路与该第二管路的连通交接位置；一第三管路，连通该交接处，该第三管路用以输出该液体与该气体；以及一立体扰流装置，设于该第三管路内，且该立体扰流装置与该交接处相隔一距离，该立体扰流装置包含复数个导流鳍片与复数个导流孔，当该液体流入该第三管路时，该立体扰流装置在该液体中立体旋转，该复数个导流鳍片将该气体细化为该液体中的微小气泡，该复数个导流孔扰动该微小气泡与该液体，进而使该微小气泡与该液体混合。