双振膜声波传感器

摘要

双振膜声波传感器，包含有一基板、一内振膜，以及一外振膜，基板具有一镂空槽，内、外振膜设于基板之同一侧面且对应于基板之镂空槽，而且，外振膜环绕在内振膜之周围且藉由至少二相对设置之弹性支撑件而相互连接在一起，藉此，当声波进入基板之镂空槽之后，外振膜在声压作用下会产生位移且在位移过程中同步带动内振膜位移，内振膜本身也会受到声压作用而产生位移，如此即能使内振膜相较于外振膜具有更大程度的位移，以达到提高灵敏度的效果，同时利用内、外振膜分别对应较小与较大声压可达到提升感应声压范围的功效。

主权项

一种双振膜声波传感器，包含有：一基板，具有一第一侧面、一背对该第一侧面之第二侧面，以及一贯穿该第一、第二侧面之镂空槽；一声波感测单元，设于该基板之第一侧面且对应于该镂空槽，并且具有一内振膜及一外振膜，该外振膜环绕在该内振膜之周围；以及一支撑单元，具有至少二第一弹性支撑件，该二第一弹性支撑件相对地连接在该声波感测单元之内、外振膜之间。