具有射频带输入之周边射频馈给及对称射频返回

摘要

对称射频输送之周边射频馈给及对称射频返回的系统与方法。根据一个实施例，提供用于电浆处理的一夹头组件。该夹头组件包含：一静电夹头，于一第一面之上具有一基板支持表面；一设施板，于与该基板支持表面为相反侧之一第二面上连接至该静电夹头；用以传送射频功率的一中空射频馈给部，该中空射频馈给部具有接触该设施板的周边的一第一部分；及一射频带，将该中空射频馈给部连接至一射频源。

主权项

一种夹头组件，用于电浆处理，该夹头组件包含：一静电夹头，在一第一面之上具有一基板支持表面；一设施板，于与该基板支持表面为相反侧之一第二面上连接至该静电夹头；用以输送射频功率的一中空射频馈给部，该中空射频馈给部具有接触该设施板的周边的一第一部分；及一射频带，将该中空射频馈给部连接至一射频源。