传送机械手及包括传送机械手的设备前端模组

摘要

实施例之传送机械手包括手臂单元、基座单元、引导单元、举起单元、及孔部。该手臂单元包括能够固定欲待传送的物体之机械手。该基座单元被形成实质上箱型。该引导单元包括垂直配置在该基座单元中之垂直轴。该举起单元被设置成沿着该垂直轴可抬起及降下，与将该手臂单元支撑在上端部。该孔部系开于该基座单元的上表面中，及将下流从该基座单元的外面排放到内部。

主权项

一种传送机械手，包含：手臂单元，其包括能够固定待传送的物体之机械手；基座单元，被形成实质上箱型；引导单元，其包括垂直配置在该基座单元中之垂直轴；举起单元，其被设置成可沿着该垂直轴抬起及降下，与将该手臂单元支撑在上端部；以及孔部，其系开于该基座单元的上表面中，且将下流从该基座单元的外部排放到内部，其中，该孔部系呈对应于该基座单元的该上表面中之该引导单元的上部之部位的宽度被设定成大于未对应于该基座单元的该上表面中之该引导单元的该上部之部位的宽度。