リアルタイムで膜の歪みを割り出して欠陥寸法測定を行うための膜厚、屈折率、及び消衰係数の決定

摘要

本開示は、ウェハを検査するための方法に関し、ウェハは、表面に蒸着された膜を含む。膜は、ウェハの表面にわたって変化する厚さを有し得る。方法は、ウェハの表面にわたり膜の厚さ、屈折率、及び消衰係数を測定するステップを含む。このデータを用いて、リアルタイムで膜の歪みが割り出される。方法はまた、少なくとも膜の歪みに基づいて表面上の欠陥寸法を決定するステップも含む。