| 摘要 |
본 발명은 오염물질 제거에 관한 것으로, 보다 상세하게는 물을 전기 분해하여 생성된 산소와 수소의 혼합 가스를 착화하여 산수소 화염을 형성하여 연소로 오염물질을 제거하는 것이며 다른 화염에 비하여 일산화탄소나 이산화탄소가 발생되지 않고 고온의 화염온도를 얻을 수 있어, 표면 세정을 하게 될 때 표면 이물질의 빠른 열 분해를 유도할 수 있으며, 반도체 공정에서 생성된 유해 가스를 혼합하여 용이하게 연소로 분해 처리할 수 있는 전해 산수소 화염을 이용한 오염물질 제거방법 및 시스템에 관한 것이다. 이와 같은 본 발명의 특징은 전해조 내에 산수소 가스 발생용 물이 담겨지고 물에 침지된 전극에 전기를 공급하여 산소가스와 수소가스를 발생시키는 산수소 가스 발생단계; 전해조 내에 포함된 산소와 수소가 가스유량조절기의 유량조절로 오염물질제거수단으로 공급되는 산수소 가스 공급단계; 및 오염물질제거수단으로 공급된 산소와 수소의 가스가 착화되어 산수소 가스의 화염으로 오염물질이 제거되는 산수소 가스 연소단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
